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洁净室施工和材料ISO 14644与送入洁净室或洁净区的空气相接触的各个表面，由于其性质和情况不同，都可能会污染送入敏感区的空气质量。为此，应以苛刻的要求考虑全部空气处理系统的内表面。在受控区内的设备和陈设的所有外露的两面都应符合设施外露的结构件的标准。具体的性能标准...
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洁净室净化设备及风淋室的布洁净室内要尽量减少外露的各种管线，否则会带来清洁方面的问题，并在与洁净服、洁净擦拭物等接触时会造成危害。还应该注意的是保护性盖、罩等内部的污染会阻碍消毒、蒸熏。还应考虑在外部服务区的动力或风管的输送路线。电源输出端和分接头、接头等的设...
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洁净室分级实例ISO 14644工作区是由人和/或自动处理设备对晶片或管芯进行加工的区域。在工作区内，如果产品直接暴露于环境中，则污染的可能性就会很高。保护工作区内产品的最通用的方法是单向流，尽可能降低每立方米洁净室的占用和生产负荷，越来越多地利用屏障技术和微环境把人与...
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洁净室的控制和隔离概念ISO 14644洁净室气流形式可以分为单向流或非单向流两种。如果综合利用两种气流，通常叫做混合气流。ISO5级或高于5级的洁净室通常采用单向流，而ISO6级或低于6级的洁净室通常采用非单向流和混合气流形式。级别较高、不要求采用单向流的洁净室，有时最好用空...
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洁净室对等级表粒径之外的粒子之粒径和计数的考虑注1 在IEST-G-CC1002[1]中给出了小于0.1μm的悬浮粒子浓度测试方法。 注2 如果用U描述符作为悬浮粒子洁净度级别的补充，超微粒子的浓度（x）不得小于规定的ISO等级之0.1μm被考虑粒径适用的粒子浓度限值（pc/m3）。...
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