洁净室净化车间环境控制

F．1  设计

F．1．1  对环境控制的要求随着应用的不同而异。因此买方在制定洁净室的技术要求时应说明哪些标准是重要的。本附录中给出的清单并不详尽，应按要求加以补充。

F．1．2  环境系统的设计应考虑下述问题：

a)  选用的污染控制概念；

b)  产品质量要求；

c)  建造和运作成本（使用寿命成本）；

d)  节能；

e)  安全性；

f)  人员健康和舒适；

g)  设备和工艺的需求和限制；

h)  可靠性、易于使用和维护；

i)  环境问题（如废物处理和包装）；

j)  规章要求。

F．2  温度和湿度

F．2．1  洁净室净化车间环境控制ISO 14644应按照洁净室的性能要求规定温度（℃）和相对湿度（%饱和）的庙宇值和变化限值。这类值随特殊工艺要求而异。

F．2．2  应为下述各项提供温度控制：

a)  一些制造工艺；

b)  设备和材料；

c)  适合于按规定的洁净等级穿戴洁净服的人员的稳定条件。

    一般情况下，照明的热负荷是高而稳定的；人的负荷有变化；工艺操作产生的负荷（如，热密封、波峰焊、焊接、热处理和加热压力容器）通常是高而且有变化。

F．2．3  污染控制要求的空气量很大，这有利于以适宜的速度对温控系统作出反应，对内部的热增益进行修正。不过，应对散热设备集中的区域和送风方式进行分析，确定最后的温度变化和污染控制的合格界限。

F．2．4  应为下述各项提供湿度控制：

a)  制造工艺；

b)  设备和材料；

c)  减少静电荷；

与上述温度控制有关的人的舒适。

F．2．5  在受控环境中，外部情况（如天气变化）对湿度控制的影响大于空间内生成的水分的影响。若在受控环境中有汽化过程，应把其限制在有通风的围护之内。应采取措施控制静电效应。有些制造工艺（如真空管制造和制片）要求低于35%的相对湿度。如附录E中所示，选材时应注意尽可能降低静电的问题。如果受限空间内的湿度较低，静电荷应付高于湿度较高的区。

F．2．6  上述特定设施内应详细说明人员感到舒适的温度和湿度。洁净室净化车间环境控制ISO 14644标准的相对湿度范围为<65%—>30%。如在此范围之外，就应考虑适当措施来满足工艺和人员的要求。如何按洁净工作服的情况调整温度要求可见ISO7730的指导说明。

F．2．7  应规定出要求测量温度和湿度的具体地点。

F．2．8  应对系统使用的外部条件加以规定，把可能的工作方式考虑在内。

F．2．9  对洁净室内产生的热量、水分、来源及动态变化性质都应加以规定。

F．3  照明

F．3．1  应规定出设施内各部分的照明度和均匀性，还应规定检修方法。

F．3．2  照明的色彩应由买方规定，因为其对人的舒适和很多情况下对工序，特别是对光敏感的工序都有很大影响。

F．3．3  照明系统应符合洁净室工作效率的要求。洁净室净化车间环境控制ISO 14644照明的装配件应该没有产生污染的区域。应考虑采用密封的或齐平的装配件。装配件应易于维修，不会在维修时破坏洁净室的整体性或产生污染。应该从工作的角度考虑眩光的效应。

F．4  噪声和振动

F．4．1  概述

    应按照特定的工艺或其它要求规定噪声和振动的限值。应考虑的情况如下：

a)  场地的选择——振动、土质和未来的发展；

b)  结构设计——洁净室楼面支撑、刚性和隔离缝；

c)  机械设计——设备的选择、系统的设计、性能要求、隔振系统、噪声控制系统（内部和外部）；

d)  建筑布置——装备和设施布置图、绿化区、服务区。

F．4．2  声压级

    应该依照人的舒适和安全要求及环境（如其它设备）洁净室净化车间环境控制ISO 14644的背景声压来选择适宜的声压级。洁净室标准的声压级范围在40dB（A）——65dB（A）之间。有的应用可能要求的级别较低，或者可以容忍较高的级别。噪声控制措施应按照ISO3746：1995实施。

F．4．3  机械振动

F．4．3．1  振动对洁净室是个应该考虑的重要问题。振动对工艺、人的舒适、设备和系统的使用寿命都会产生有害的影响。

F．4．3．2  洁净室内应尽力减少振动，或利用高质量的风机或抗振挡板把振动源隔离开。

F．4．3．3  如果要求振动控制，应按相应的国际标准ISO1940-1：1986和ISO10816-1：1995规定允许的级别。

F．5  节能

    进行节能设计时，洁净室净化车间环境控制ISO 14644可以考虑在无活动进行时减少或关闭温、湿度控制、降低气流。但应能够在规定的恢复期内恢复到工作状态。