洁净车间相对湿度的检测标准

C．7．1 相对湿度测试应确认空气处理设施的湿度控制能力。湿度测试时洁净室(区)状态应符合本规范第C．6．3条的要求。

C．7．2 相对湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。

C．7．3 相对湿度测试的测点，测试时间、频度与温度检测的技术要求相同时，宜一同测试。