无尘车间密闭性测试标准

C．8．1 本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室(区)。适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。可采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

C．8．2 采用粒子计数器法时，测量被评价表面的洁净室(区)外部的空气中悬浮粒子浓度，应大于洁净室(区)内的浓度10⁴的倍数，并应至少大于或等于3．5×10⁶／m³；其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时，应添加气溶胶提高浓度。
    粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5cm～10cm；扫描速度应为5cm／s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室(区)内敞开的门0．3m～3．0m处检测空气中悬浮粒子浓度。

C．8．3 采用光度计法，测量洁净室(区)内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度，在光度计0．1％档的设定值时，光度计的读数超过0．01％即确认存在渗漏，并应做记录。