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JIS B9920-2002 | 洁净室空气洁净度的分类 | Classification of air cleanliness for cleanrooms |
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JIS B9920-2002洁净室空气洁净度的分类Classification of air cleanliness for cleanrooms
中文标准名称:洁净室空气洁净度的分类
英文标准名称:Classification of air cleanliness for cleanrooms
标准状态:现行有效
复审确认日期:2003-05
代替标准号:JIS B9920-1989 净化间悬浮微粒子的浓度测定方法及净化间空气洁净度的评定法
被代替标准号:JIS B 9920-1989
采用国际标准编号:ISO 14644-1-1999 洁净室和相关控制环境 第1部分:空气洁净度分级,MOD
采用国际标准:ISO 14644-1-1999
是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为0.1μm,以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10n pc/m3命名为n级,如该标准2级,其表示≥0.1μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3,即102pc/m3