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洁净室

半导体厂房的洁净室净化工程是怎么做的?

发表时间:2018-05-08 12:00:36浏览量:

包括一大型洁净空间及回风通道;大型洁净空间从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间,所述循环空间内设有生产辅助设备;所述循环空间内设置生产辅助设备的区域的四周均设有隔板,使其构成独立的密闭空间;在所述洁净空间内相对于所述密闭空间的位置设有至少1个回风柱,所述回风柱的顶端与架构空间连通,其底端与高架地板连通;所述回风柱内设有风机。本实用新型解决了生产辅助设备易产生泄漏的问题;与此同时,在洁净空间内相对于所述密闭空间的位置设置多个回风柱,通过回风柱实现气流循环,同时还充分利用了其内的洁净空气,而且降低了消耗。    


半导体厂房的洁净室净化工程是怎么做的?


现代药厂洁净厂房--空气过滤器,以建造单层大框架正方形大面积厂房最佳。其显著优点是外墙面积最小、能耗低,可节约建筑、冷热负荷的投资和设备运 转费用。另外,可控制和减少窗墙比,加强门窗构造的气密性。此外,在有高温差的洁净室设置隔热层,围护结构采用隔热性能和气密性好的材料及构造,建筑外墙 内侧采用保温或夹芯保温复合墙板;在湿度控制房间设置有良好防潮性能的密封室:这些措施均能达到节能的目的。

 1.一种用于半导体厂房的洁净室,包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间及回风通道; 所述大型洁净空间从上到下包括架构空间(4)、洁净空间(5)和循环空间(6),架构空间和洁净空间之间设有天花板(7),洁净空间和循环空间之间设有高架地板(2)和混凝土板(3);所述循环空间内设有生产辅助设备;其特征在于: 所述循环空间内设置生产辅助设备的区域的四周均设有隔板(8),使其构成独立的密闭空间;循环空间内还设有连通管,连通管的一端与所述密闭空间连通,另一端与洁净室的外界连通; 在所述洁净空间内相对于所述密闭空间的位置设有至少I个回风柱(9),所述回风柱的顶端与架构空间连通,其底端与高架地板连通; 所述回风柱内设有风机(10)。
2.根据权利要求1所述的洁净室,其特征在于:所述架构空间和高架地板内相对于所述密闭空间的位置均设有第二隔板(11),使所述密闭空间上方的架构空间、洁净空间,以及高架地板所在的空间构成独立的洁净微环境结构。
3.根据权利要求2所述的洁净室,其特征在于:所述架构空间、高架地板和洁净空间内相对于所述密闭空间的位置均设有第二隔板,使所述密闭空间上方的架构空间、洁净空间,以及高架地板所在的空间构成独立的洁净微环境结构。
4.根据权利要求1所述的洁净室,其特征在于:所述密闭空间的顶端设有密封板(12),所述密封板设于高架地板和混凝土板之间。
5.根据权利要求1所述的洁净室,其特征在于:所述回风柱内设有干盘管(13)。

    减少洁净空间体积

    洁净空间的减少,意味着风量比、换气次数、送风动力消耗都随之降低。洁净室每平方米耗能是普通空调办公楼的10~30倍。若减少洁净体积30%,可节能25%。又由于1万级洁净区电耗是10万级的2.5倍,因此,企业应按不同的空气洁净度等级要求分别集中布置,空气过滤器尽最大努力减少洁净室特别是高级别洁净室的面积,同时,应使洁净度要求高的洁净室工程尽量靠近空调机房,以减少管线长度,降低能量损耗。

 

    合理设计空气洁净等级

 

    在药厂洁净室设计中,对空气洁净度等级标准的确定,应在保证生产质量的前提下,综合考虑工艺生产能力、设备的大小、操作方式和前后生产工序的连接方式、操 作人数、设备自动化程度、设备检修空间、设备清洗方式等因素,以降低投资和运行费用,达到节能要求。一是按生产要求确定净化等级,如对注射剂稀配可定为万级,而浓配对环境要求不高,可定为10万级。二是对洁净度要求高、操作岗位相对固定的场所使用局部净化措施。如大输液的灌封等可在1万级背景下局部 100级的生产环境内操作。三是允许随生产条件的变化调整生产环境洁净要求。如注射剂稀配1万级,当采用密闭系统时生产环境可为10万级。

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