洁净室静电测试方法

C．15．1 洁净室(区)内的地面、墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试，应根据生产工艺要求确定。宜采用高阻计进行测试。

C．15．2 在相关表面的导静电测试表面上采用图C．15．2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量。圆柱形铜电极的直径应为60mm，质量应为2．0kg；2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm。

图C．15．2 表面导静电性能测试装置
1-高阻计；2-被测表面；3-圆柱形铜电极；4-湿滤纸垫